VE-2050

한 걸음 진행된 시료 만들기는 청정고진공으로 시작됩니다.
터보모레큘러 펌프(TMP) 배기계를 채용한 청정 고진공 증착 장치입니다. 고진공은 막 순도 향상, 막 밀도 향상에 기여합니다.
터치 패널의 EVAC START 버튼을 누르면 예비 배기에서 고진공 배기까지 자동으로 실시합니다. 터치 패널＋프로그램 제어로 조작 미스를 방지하는 안전 설계입니다.
VE-2050에는 다양한 부속장치(옵션)가 준비되어 있습니다. 연구의 목적에 대응한 기능의 추가 개조도 받습니다.

특징

・히터 전원：최대 전류 80 A(표준 보트 사용시), 전류계 지시.
・진공 배기계는 냉각수 불필요한 80L/sec TMP+50L/min RP와 전 전자 밸브로 이루어지는 전자동 배기계입니다.
・터치 패널 조작으로 잘못된 순서로 조작을 할 수 없는 안전 기능 탑재.
・TEM이나 SEM의 조리개류의 베이킹도 단시간에 완료해, 시간의 절약이 됩니다.
・메탈 코팅이나 섀도잉은 초미립자 증착이 되어 해상도가 향상합니다.
・카본 코팅도 튼튼하고 치밀한 증착막이 됩니다. 탄소 보강이나 지지막 작성에 효과를 발휘합니다.
・정전 시에는 모든 밸브가 자동으로 닫히고 진공이 유지됩니다. 로터리 펌프만 자동으로 에어 누설됩니다.
・정전이 회복되면 초기 화면으로 돌아갑니다.
· 입력 스위치는 회로 보호기입니다. 장치 내에서 과전류가 발생하면 자동으로 OFF됩니다.

주요 제품 사양