VE-2013
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작성자최고관리자 댓글 0건 조회 111회 작성일 24-06-14 13:35본문
VE-2013
VE-2013은 VE-2030(폐사제)의 컨셉을 계승한 간이형 진공 증착 장치입니다. TMP를 케이스 내에 내장한 컴팩트한 케이스를 실현. 데스크탑형이므로 설치 장소를 취하지 않습니다. RP는 지면 놓고.
소형 TMP＋RP의 배기계에 의해 청정 고진공의 증착 장치를 저가격으로 제공. 복잡한 배기 조작을 폐지하고, 터치 패널 스위치의 ON/OFF만의 완전 자동 제어입니다.
텅스텐 바스켓의 사용으로 금·알루미늄·크롬·은 등의 증착을 할 수 있습니다. 카본 증착은 전용 카본( SLC-30 )을 사용하여 증착하는 클램프 증착 총 타입을 사용. (φ5mm 카본 로드는 사용할 수 없습니다.)
구입시에 탄소 증착 전극 또는 금속 증착 전극을 선택합니다. 옵션으로 추가로 전극을 구입할 수 있습니다.
탄소 증착 전극
전용 탄소 증착 전극입니다.
고진공 영역에서의 탄소 증착을 가능하게 하고, 막질, 막 강도가 뛰어난 탄소 성막이 가능합니다.
부속의 오염 방지 커버에 의해, 탄소 증착의 비산 범위를 필요 최소한으로 억제해, 클리닝의 부담을 경감하고 있습니다.
카본 증착원에는 전용 카본(SLC-30)을 사용합니다.
전용 탄소 증착 전극입니다.
고진공 영역에서의 탄소 증착을 가능하게 하고, 막질, 막 강도가 뛰어난 탄소 성막이 가능합니다.
부속의 오염 방지 커버에 의해, 탄소 증착의 비산 범위를 필요 최소한으로 억제해, 클리닝의 부담을 경감하고 있습니다.
카본 증착원에는 전용 카본(SLC-30)을 사용합니다.
금속 증착 전극
φ0.5mm 텅스텐 바스켓 전용의 금속 증착 전극입니다.
금, 알루미늄, 크롬 등의 증착을 간편하고 간단하게 실시할 수 있습니다. 부속의 오염 방지 커버에 의해, 증착 범위를 최소한으로 억제해, 클리닝의 부담도 경감하고 있습니다.
φ0.5mm 텅스텐 바스켓 전용의 금속 증착 전극입니다.
금, 알루미늄, 크롬 등의 증착을 간편하고 간단하게 실시할 수 있습니다. 부속의 오염 방지 커버에 의해, 증착 범위를 최소한으로 억제해, 클리닝의 부담도 경감하고 있습니다.
주요 제품 사양
| 품목 | 사양 |
| 전원 | AC100V(단상 100V15A) |
| 장비 크기 | 폭 428mm, 깊이 430mm, 높이 550mm (장치 중량 38kg) |
| 로터리 펌프(외장) | 배기 속도 50ℓ/min(G-50DA) (중량 11kg) |
| 터보 펌프(장치 내장) | 배기 속도 67ℓ/sec |
| 샘플 스테이지 | 직경 72mm |
| 증착원-시료대 간격 | 0mm~140mm의 범위에서 조정 가능 |
첨부파일
- VE-2013.pdf (289.3K) 10회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 13:35:53
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