증착 장치에 있어서는, 각종 실험 용도에 대응한 옵션을 다수 갖추고 있습니다.

이 옵션은 일반적인 예입니다. 손님의 희망의 사양에 응한 개조도 받기 때문에, 부디 문의해 주세요.

VE-2013 · VE-2012 옵션

옵션	특징 · 카탈로그
	CE-12형 클램프 전극 이 부품은 Φ0.5mm 전용 카본을 장착하여 카본 증착을 실시하는 유닛입니다. 종래의 카본 로드 증착에 비해 수고가 들지 않고, 매우 간단하게 재현성 좋고 카본 성막이 가능합니다. 얼룩 방지 캡 부착으로, 증착 범위를 한정해, 클리닝의 수고를 경감하는 것이 가능합니다.
	HE-12형 금속 증착 전극 텅스텐 바스켓을 장착하여 금속의 증착을 실시하는 유닛입니다. 금, 은, 알루미늄, 크롬 등의 금속 증착이 가능합니다. 얼룩 방지 캡 첨부이므로, 증착 범위가 한정되어 클리닝의 수고를 경감하는 것이 가능합니다.
	전극의 이극화 표준에서는 한 쌍의 전극을 갖추고 있습니다만, 전극을 이극화하는 것으로, 한 번의 증착량을 늘리거나 같은 공정 내에서 2종류의 금속 증착을 실시할 수 있도록 됩니다.
	CE-22형 2원 클램프 전극 전극의 2극화가 필요합니다. 1회의 증착 공정으로 2배량의 카본 증착이 가능해집니다.
	HE-22형 2원 금속 증착 전극 전극의 2극화가 필요합니다. 다른 금속의 증착에 대응 가능합니다.
	기판 홀더 증착을 아래에서 위쪽으로 향할 때 시료를 고정하기 위한 홀더입니다. 이물의 낙하·부착을 최소한으로 하는 시료 홀더입니다. 설치 구멍 위치는 희망에 따라 변경 가능합니다. 가열용 전극 기둥에 절연 대책을 실시합니다.
	경사 회전 기구 증착물의 회전성을 서포트하는 경사 회전 시료대입니다.
	서비스 포트용 챔버 다양한 용도로 장치 내부에 접근하는 포트를 갖춘 스테인리스제의 챔버를 증설 가능합니다. 막후계, 온도 조절용 센서, 경사 회전 시료대의 증설 등에 대응합니다.
	VE-2012, VE-2013 전용 방폭 커버 유리 벨저 유닛 일체형의 방폭 커버입니다. 재질: 아크릴

VE-2030 · VE-2050 옵션

옵션	특징 · 카탈로그
	CE-01형 클램프 전극총 이 부품은 Φ0.5mm 전용 카본을 장착하여 카본 증착을 실시하는 유닛입니다. 종래의 카본 로드 증착에 비해 수고가 들지 않고, 매우 간단하게 재현성 좋고 카본 성막이 가능합니다. 전극은 2쌍의 판스프링을 옹호해 수 nm~100nm 정도까지의 증착을 가능하게 합니다. 주로 원소 분석(EDX·EPMA 등), TEM 지지막이나 시료의 보강, FIB 가공용의 보호막 제작에 이용됩니다.
	KZ-20형 카본 증착총 스프링 스프링과 비교하면 수명이 긴 판 스프링에 의해 카본 로드를 누르고, 고정 나사로 설정한 길이의 카본을 증착합니다. 원통 내에서 증발시킴으로써 복사열의 영향을 경감합니다. φ5mm 전용 카본로드를 사용합니다.
	EB-20형 전자빔 증발원 EB건 가열된 필라멘트에서 방출한 열전자를 고전압으로 가속합니다. 가속된 열전자는 영구자장에 의해 편향되어 도가니 내에 태운 증발 물질에 조사됩니다. 열전자를 조사된 증발 물질은 발열·증발하여 기반 등에 박막을 형성합니다. 저항 가열 방식에 대해 고전력, 고밀도, 저불순물막을 얻을 수 있습니다. 저항 가열 방식으로 히터가 되는 고융점 금속(텅스텐·탄탈·몰리브덴 등)과 화합물을 생성하기 쉬운 물질이나 히터보다 고융점인 물질의 증착을 가능하게 합니다. ※이 옵션은 수냉 기구가 필요합니다.
ZD-20형 짐벌 기구	ZD-20형 짐벌 기구 시료대를 회전·연속 경사시키는 것으로, 시료 전체에 균일한 회전이 좋은 증착이 가능합니다. 시료대를 경사한 상태에서 회전만을 하는 것으로, 로우 앵글 섀도잉이 가능합니다.
	2원 금속 증착 유닛 2종류의 금속을 고진공하에서 증착하는 것이 가능합니다. 전극 전환으로 연속적인 이종 금속 증착이 가능합니다. 텅스텐 바스켓을 유닛 내에 넣으면 복사열의 영향도 줄일 수 있습니다.
K-셀 가열·유기물 증착원	K-셀 가열·유기물 증착원 Ga·Se·As 등의 유기물을 도가니(PBN·석영)를 이용하여 일정 온도로 유지하면서 증발시키는 것을 가능하게 합니다.
막후계	막 두께계 증착한 막의 두께를 계측하는 유닛입니다. 막 두께 모니터 (전원) · 오실레이터 · 수정 진동자로 구성되어 있습니다. ※이 옵션은 수냉 기구가 필요합니다.
KN-20형 시료 가열 기구	KN-20형 시료 가열 기구 최고 도달 온도 400도. 시료 구운 후의 증착이나 일정 온도에서 과열하면서의 증착을 가능하게 합니다.
	SMR-1형 시료 냉각 기구 시료를 냉각하면서 증착을 실시할 수 있는 냉각 시료대입니다. 냉각 기구는 서모 모듈을 이용하고 있습니다.
	상부 시료 홀더 반도체 등에의 낙하물(이물)을 저감하기 위해서 샘플을 하향으로 고정, 증착을 실시하는 홀더입니다.
	상부 회전 시료 홀더 반도체 등에의 낙하물(이물)을 저감하기 위해서 샘플을 하향으로 고정, 증착을 실시하는 홀더입니다. 홀더의 회전 기구에 의해 막 불균일의 경감을 가능하게 하고 있습니다.
	KN-20형 시료 가열 기구(상부 부착형) 시료를 가열할 때, 이물의 부착 등을 경감하기 위해서 상부 덮개부에 반도체 등을 설치하는 기구입니다. 시료 구운 후의 증착이나 일정 온도에서 과열하면서의 증착을 가능하게 합니다. (통형 롱 벨저로의 개조가 필요합니다)
	TEM 홀더·크라이오 홀더 보관 기구 서비스 포트에 전용의 어태치먼트를 증설해, TEM 홀더, 크라이오 홀더의 진공 보관을 할 수 있는 유닛입니다.
	멀티 포트 챔버 초기 주문 시에만, 다종·다양한 측정기 등을 추가되는 고객에게 서비스 포트×4를 장비한 챔버를 준비했습니다.
	추가 멀티포트 챔버 현재 표준 챔버 사양의 증착기를 사용하시는 고객에게 다종·다양한 측정기 등을 추가 가능한 후부 챔버를 준비하였습니다. 탈착 가능. 증착기를 초기 주문 고객에게도 사용할 수 있습니다.
	원통형 롱 벨저 샘플에의 복사열 경감을 목적으로, 증착원으로부터의 거리를 길게 하기 위한 벨저입니다. 상부 뚜껑, 상부 뚜껑용 지주, 전용 전극 기둥도 포함됩니다. 안전성 향상을 위해 방폭 철망도 옵션으로 준비하고 있습니다.
	내열성 SUS 벨저 증착 장치를 장시간 연속으로 고온이 되는 사용 방법을 하는 고객용의 스테인리스제 방폭용 내열 벨저입니다.
	표준 유리 벨저용 아크릴 커버 표준 유리 벨저의 방폭용 아크릴제 커버입니다.
롱 벨저용 방폭 철망	롱 벨저용 방폭 철망 롱 벨저용의 방폭용 철망 커버입니다.
	로터리 펌프 배기 덕트 포트 오일 미스트에 의한 설치 환경의 오염을 방지하기 위한 배기 덕트 포트입니다. 오일 미스트 트랩은 전용 트랩을 준비합니다.
	전원 랙 (본체 장착) VE 시리즈 본체에 설치하여 전원 등을 수납하는 전용 랙입니다. 사진은 XTM/2형 막두께 모니터와 아넬바사제 페닝 진공계를 수납한 예입니다.
	전원 랙(단체) VE 시리즈의 기능 확장용 전용 랙입니다. 각종 부속품 전원을 모두 수납할 수 있습니다. JIS 랙의 규격 이외의 전원을 수납할 때는 필요에 따라 설치 구멍 가공합니다.
	지진 대책용 고정 금구 장치 본체에는 캐스터의 스토퍼×4가 장비되고 있습니다만, 고객의 규격에 맞지 않은 경우에 본체 측면 또는 전후에 M10×2개의 볼트로 바닥 고정할 수 있는 금구 입니다. 본체 설치 구멍 가공 포함.