VES-10
페이지 정보
작성자최고관리자 댓글 0건 조회 104회 작성일 24-06-14 13:32본문
3대의 장치가 1개가 되었습니다
VES-10
장비 개요
이 장치는 2개의 독립적인 챔버를 가지며 각각 탄소 증착, 마그네트론 스퍼터, 친수 처리 기능을 가진 장치입니다. 1대로, 당사제 VC-100S, MSP-1S, PIB-10, 3기종의 성능을 탑재하고 있습니다. 외장 로터리 펌프 배기로 2 계통의 배기관 전환을 실시하고 있습니다.
또한 각 챔버는 진공 배기와 대기 해방을 독립적으로 실시할 수 있으며, 챔버는 진공 유지가 가능합니다.
용도
탄소 증착
TEM, SEM, X 선 분석 등의 탄소막 작성 장치입니다. 수지 포매 시료의 차지 업 방지 등에 사용합니다.
이온 스퍼터
SEM 관찰용 귀금속 박막 코팅 전용 장치입니다. SEM 시료의 충전을 방지하고 2차 전자의 발생 효율을 향상시키기 위한 귀금속 코팅을 실시합니다. 마그네트론 타겟 전극에 의한 저전압 방전 이외에, 시료대를 플로팅 방식으로 함으로써, 전자선 유입에 의한 시료 손상을 경감하고 있습니다.
친수 처리 투과
전자 현미경의 그리드 메쉬나 콜로디온 지지막, 카본 지지막, 기타 다이아몬드 나이프 등의 친수화 처리나, 유지 오염 등의 클리닝에 사용합니다.
교류 방전에 의한 플라즈마 이온을 시료 표면에 조사합니다. 시료 표면의 화학 결합을 차단 관능기를 형성합니다. 이 때문에, 활성 상태가 된 시료 표면과 물 분자와의 화학 결합이 촉진되어 친수성이 됩니다.
또한 유지 얼룩 등의 화학 결합을 차단하고 얼룩을 제거하는 효과를 얻을 수 있습니다.
조사 강도(SOFT/HARD)의 전환이 가능합니다.
주요 제품 사양
| 품목 | 사양 |
| 전원 | AC100V(단상 100V15A) 접지 부착 3P 플러그 1구 |
| 로터리 펌프 | 배기 속도 50ℓ/min 중량 14.6kg |
| 장비 크기 | 폭 400mm, 깊이 360mm, 베이스 높이 280mm CARBON 챔버 높이 +185mm ION 챔버 높이 +101mm (장치 중량: 29Kg) |
| 카본 증착측 사양 | |
| 시료실 사이즈 | 내경 120mm, 높이 140mm(경질 유리) |
| 증착원-시료대 간격 | 직경 50mm(플로팅 방식) |
| 전극-시료대 간격 | 45mm~75mm의 범위에서 조정 가능 |
| 샘플 스테이지 크기 | Φ100mm |
| 장착 가능 시료 크기 | Φ98mm, 최대 시료 높이 40mm |
| 증착 전원 | BAKE, OUTGAS, EVAPO. 각 고정 전압 3단계 전환, 최적 전압으로 프리셋 |
| 이온 챔버 측 사양 | |
| 시료실 사이즈 | 내경 120mm, 높이 65mm(경질 유리) |
| 전극―시료대 간격 | 35mm 고정 |
| 시료대 사이즈 | Φ50mm(플로팅 방식) |
| 스퍼터 타겟 전극 | 영구 자석 내장 마그네트론 형 타겟 전극 |
| 타겟 금속 사양 | Φ51mm, 두께 0.1mm Pt, Pt-Pd, Au, Au-Pd, Ag |
| 스퍼터 전원 | DC500V, 0~50mA(가변저항에 의한 조정) |
| 친수 처리용 전극 | Φ50mm, SUS제 타겟 |
| 친수 처리용 전원 | SOFT: 450V, 10~20mA HARD: 550V, 20~30mA (임의로 전환 가능) |
첨부파일
- VES-10.pdf (234.0K) 8회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 13:32:45
댓글목록
등록된 댓글이 없습니다.
