이 장치는 로터리 펌프를 사용하여 피라니 게이지로 진공도를 모니터링하면서 탄소 증착을 수행합니다. 항상 일정량의 탄소를 증발시킴으로써 재현성이 높은 탄소 증착이 가능합니다.

탄소원은 전용 교체심 SLC-30을 사용해 주십시오.

300S 전극은 한 쌍, 300W 전극은 2쌍 있습니다. 300W는 스위치 전환으로 2배 두께의 코팅이 가능합니다.

로터리 펌프 (RP)는 외부 바닥 설치 형태입니다. RP 진동에 공명하지 않도록 견고한 작업대에 설치하십시오. 수냉이 필요하지 않습니다.

용도 

TEM, SEM, X선 분석 등의 탄소막 작성 장치입니다. 수지 포매 시료의 차지 업 방지 등에 사용합니다. 300W는 XMA나 FIB 시료의 보호막 등, 특히 두꺼운 탄소막 작성에 이용합니다.

주요 제품 사양