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HPC-20

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작성자최고관리자 댓글 0건 조회 54회 작성일 24-06-14 13:16

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장비 개요 

이 장치는 전자 현미경 관찰용 오스뮴 코팅 장치입니다. 터치 패널과 시퀀서 제어를 탑재하여 누구나 쉽게 전자동으로 시료의 도전 성막 처리를 실시할 수 있습니다. 홀로 캐소드 시료대를 채용해, 저전압 방전으로 코팅을 실시하기 때문에 시료 데미지가 거의 없습니다. 홀로 캐소드내는 균일한 고밀도 플라즈마가 발생하기 때문에, 시료의 높이나 재질에 영향을 받지 않고, 원통 내에 놓인 시료 표면에는 균일한 두께의 Os막이 형성됩니다. 오스뮴 가스는 할로우 캐소드 내부에 필요량만큼 주입되기 때문에 소비량이 적고, 미반응의 가스는 활성탄 트랩으로 흡착 제거해, 대기중으로의 유해 가스 방출을 억제하고 있습니다. 


용도 

SEM, TEM용 오스뮴 코팅 장치입니다. 입경이 미세하고 회전성이 뛰어나 고배율 관찰 용도나 복잡한 형상의 시료에 효과적입니다. 또한 극박막의 Os 도전 코팅에 의해 EBSD 분석, 오제 분석, X선 분석에도 응용됩니다. 


주요 제품 사양

품목사양
전원AC100V(단상 100V15A) 1구
접지선 부착 3심 플러그 사용(3m)
장비 크기폭 470mm, 깊이 400mm, 높이 412mm
(중량 25Kg)
로터리 펌프폭 120mm, 길이 290mm, 높이 250mm
배기 속도 30ℓ/min 특수 오일 전용 로터리 펌프
(중량 11Kg)
시료실 사이즈내경 120mm, 높이 77mm(경질 유리제)
전극애노드:Φ110mm
캐소드:내경Φ108mm, 깊이 35mm
(당사 특허에 의한 홀로 캐소드 방식)
샘플 스테이지 크기Φ98mm, 할로우 캐소드 내에 플로팅 설치
장착 가능 시료 크기Φ98mm, 시료대를 포함한 높이 45mm
오스뮴 앰풀 표준두께:Φ12.8mm 이내
높이:치수 몸통 타입 60mm 이하, 앰풀 타입 65mm 이하
OsO4 소비량(사용 횟수)1g 앰풀 1개당 약 100회(표준 사용 조건의 경우)
(사용 빈도, 성막 시간에 따라 사용 횟수가 변동합니다)
2개국어 표시 기능일본어, 영어 표시 전환 기능 탑재

첨부파일

  • HPC-20.pdf (330.9K) 4회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 13:16:32

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