HPC-1SW 옵션
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작성자최고관리자 댓글 0건 조회 74회 작성일 24-06-14 13:05본문
HPC-1SW 옵션
| 옵션 | 특징 · 카탈로그 |
 | OSK형 앰풀 분할 메커니즘 HPC-1SW형, HPC-30W형 타입에 그대로 장착 가능합니다. 앰풀을 장전할 때 대기중에 사산화오스뮴이 유출할 염려가 없습니다. 사산화 오스뮴을 다 쓸 때까지 제거 할 필요가 없습니다. |
HPC-20 옵션
| 옵션 | 특징 · 카탈로그 |
 | OST-20형 오스뮴 트랩 이 부품은 오스뮴을 포함한 챔버 내의 기체를 안전하게 청정화하는 트랩입니다. 연결이 가능하고, 포집 한계를 맞아도 외기에 방출되지 않도록 하는 것이 가능합니다. 내부에는 활성탄 필터를 사용하고 있습니다. 종래품에 비해, 포집 효율이 뛰어나 내부의 기밀성도 향상했습니다. |
 | OSD-20형 드래프트 푸드 이 장치는, 유해 물질을 포함한 약품을 사용하는 장치에 사용하는 것으로, 인체에의 영향을 경감하기 위한 드래프트 푸드입니다. 대형 배출 FAN, 집진용 HEPA 필터, 활성탄 필터를 통해 드래프트 밖으로 배출합니다. 전원에는, 계통별 브레이커를 장비해, 라이트·FAN·내부 콘센트의 3 계통으로 독립에 차단합니다. FAN과 라이트는 전면 패널에 조작 스위치를 배치하여 조작을 용이하게하고 있습니다. |
  | SPG-20형 후막 제어 프로그램 이 프로그램은 100nm 정도의 오스뮴막을 성막하기 위한 전용 프로그램입니다. FIB 보호막 등의 두꺼운 막을 성막하기 위한 프로그램입니다. 성막 횟수, 성막 시간, 오스뮴 가스 충전 시간의 설정이 가능하고, 1 공정에서의 처리가 가능합니다. 완전 자동 제어로 성막 중에는 시간을 효과적으로 활용할 수 있습니다. |
첨부파일
- OSK_01.pdf (344.5K) 4회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 13:10:58
- OST-20_01.pdf (211.0K) 3회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 13:10:58
- OSD-20_05.pdf (334.7K) 3회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 13:10:58
- SPG-20.pdf (200.1K) 3회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 13:10:58
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