MSP-40T
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작성자최고관리자 댓글 0건 조회 68회 작성일 24-06-14 12:58본문
이 장치는 다목적 간이 조작형 마그네트론 스퍼터 성막 장치입니다. 소형 탁상형·소공간 장치로, 강자장에 의한 다종 금속의 성막이 가능합니다.
필수 유틸리티 정보
아르곤 가스
2차측 압력 0.05MPa~0.08MPa, 접속 1/4인치 스웨이지 록
수냉 기구
유량 1리터/min, 접속 Φ6mm 스웨이지 록
냉각수 순환 장치, 또는 수돗물의 접속이 필요합니다.
이 장치는 다목적 간이 조작형 마그네트론 스퍼터 성막 장치입니다.
소형 탁상형·소공간 장치로, 강자장에 의한 다종 금속의 성막이 가능합니다.
낮은 전압으로 코팅하는 동시에 시료가 플로팅식이므로 시료 손상을 작게 억제할 수 있습니다.
터치 패널 조작, 레시피 기능, 시퀀서 제어에 의한 풀 오토 스퍼터 성막을 실현했습니다.
주요 제품 사양
| 품목 | 사양 |
| 전원 | AC100V(단상 100V) 15A 접지선 부착 3심 플러그 |
| 장비 크기 | 폭 504mm, 깊이 486mm, 높이 497mm (장치 중량 37.7kg) |
| 다이어프램 펌프 | 폭 170mm, 깊이 287mm, 높이 173mm (중량 6.5kg) |
| 시료대 사이즈 | 직경 50mm(애노드 전극 분리 플로팅 방식) |
| 전극-시료대 간격 | 115mm, 95mm, 70mm (높이별 시료대 부속) |
| 타겟 금속 | ITO, Ti, W, Cr, Al, Ni, Fe, Ge, Zr, Mo, Cu, Ta, Carbon 등 귀금속 타겟(자장 캔슬 Ni 플레이트 사용) Pt, Pt-Pd, Au, Au-Pd, Pd, Ag |
첨부파일
- MSP-40T.pdf (590.8K) 3회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 12:58:12
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