MSP-12in
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작성자최고관리자 댓글 0건 조회 68회 작성일 24-06-14 12:42본문
12인치 웨이퍼에 대응하는 대면적 시료 스테이지를 탑재. 코팅 전압 500V 이하로 이온 데미지를 경감하는 마그네트론 방식을 채용.
오토 코팅 기능으로 탈가스에서 분위기 가스 도입·코팅까지 전자동.
시료의 출입이 간단한 전방 슬라이드식 시료 스테이지를 탑재. Ag 타겟을 장착하면 투명 필름 등의 광택 처리도 간단하게 가능.
코팅 영역의 차이에 따라 12in 타입과 12S 타입을 준비!
MSP-12in
타겟의 크기가 직경 12인치(직경 300mm) 있어, 12인치 웨이퍼 전역을 얼룩없이 코팅합니다. 대면적에의 코팅, 대량의 샘플 코팅에 활약 하겠습니다.
타겟의 크기가 직경 12인치(직경 300mm) 있어, 12인치 웨이퍼 전역을 얼룩없이 코팅합니다. 대면적에의 코팅, 대량의 샘플 코팅에 활약 하겠습니다.
MSP-12S
타겟 전극의 크기는 직경 50mm. 가동식 타겟에 의해, 12 인치 웨이퍼와 같은 대면적 샘플의 일부를 코팅하고 싶은 경우에 활약 하겠습니다. 전극을 소형화함으로써 런닝 비용을 억제할 수 있습니다. 또한 큰 웨이퍼를 나눌 필요가 없습니다.
타겟 전극의 크기는 직경 50mm. 가동식 타겟에 의해, 12 인치 웨이퍼와 같은 대면적 샘플의 일부를 코팅하고 싶은 경우에 활약 하겠습니다. 전극을 소형화함으로써 런닝 비용을 억제할 수 있습니다. 또한 큰 웨이퍼를 나눌 필요가 없습니다.
주요 제품 사양
| 품목 | 사양 |
| 전원 | 단상 AC100V15A 접지선 부착 3심 플러그 |
| 장비 크기 | 폭 450mm, 깊이 440mm, 높이 427mm (장치 중량 30kg) |
| 로터리 펌프 | G-101D 폭 234mm, 깊이 500mm, 높이 264mm 중량 25Kg |
| 코팅실 사이즈 | 내경 330mm, 높이 80mm |
| 타겟 전극 크기 | 직경 300mm |
| 샘플 스테이지 | 직경 300mm |
첨부파일
- MSP-12S.pdf (253.6K) 3회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 12:42:39
- MSP-12in.pdf (310.7K) 3회 다운로드 | DATE : 2024-06-14 12:42:39
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