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진공 디바이스 제품 라인업

SVS-100T

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작성자최고관리자 댓글 0건 조회 111회 작성일 24-06-14 12:37

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이 장치는 SEM 시료 및 임의의 시료를 진공하에 보관하는 것을 목적으로 하고, 보관중의 시료를 항상 고진공 하에 유지하면서 시료의 입출고를 수시로 실시할 수 있는 장치입니다. 


특징
 

보관 선반이 2단 구조로 되어 있어 많은 시료를 보관하는 것이 가능합니다.
시료의 수납·취출 시에는 교환실을 통해 실시합니다. 따라서 보관실은 항상 고진공을 유지합니다. 


저장팔레트
 

대:내 치수 W90xD28xH18.0mm

소:내 치수 W60xD28xH18.0mm

1단에 6개씩, 합·대 12개, 소 12개의 격납이 가능합니다.


주요 제품 사양

품목사양
전원AC 100V, 10A. 접지선 부착 3심 플러그 사용.
장비 크기폭 728mm, 깊이 435mm, 높이 440mm
배기계20L/min 다이어프램 펌프(외치)
67L/sec 터보 분자 펌프(장치 내장)
도달 진공도5x10 -4 Pa 이하
진공도 측정풀 레인지 진공계



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